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輝光放電質譜法在高純碳化硅原料及制品的微量雜質成分測定中的應用

作者:鄭翰1相宇博1曹會彥1石會營1,2龔劍鋒1,2吳吉光1馬昭陽1

作者單位:1. 中鋼集團洛陽耐火材料研究院有限公司先進耐火材料國家重點實驗室2. 中鋼寧夏耐研濱河新材料有限公司

刊名:耐火與石灰

ISSN:1673-7792

出版年:2024-05-30

卷:49

期:3

起頁:15-19

止頁:

分類號:TQ163.4;O657.63

語種:中文

關鍵詞:輝光放電質譜法;碳化硅;無煙煤;石油焦;

內容簡介

將輝光放電質譜法(GDMS)用于高純碳化硅原料和制品中微量雜質成分的檢測,結果發現:1)GDMS法比化學分析法對Fe、Al雜質檢出限更低,含量的檢測結果更準確,檢測精密度更高;2)無煙煤及石油焦作為碳源制備的碳化硅均含有較多的Fe、Al雜質,無煙煤碳化硅中含Ca元素較多,石油焦碳化硅中含V元素也較多。碳化硅顆粒研磨成微粉過程會引入Fe、Cr、Mn、Ti等雜質;3)Al元素在SiC中多以Al2O3、AlN存在,酸堿清洗、除雜過程很難將其除去,用GB/T 3045—2017化學分析法對Al元素的檢測結果會嚴重偏低。

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