作者：王不賴1,2王峰3白志民1王曉波3賀智勇2,3
作者單位：1.中國地質(zhì)大學(xué)(北京)材料科學(xué)與工程學(xué)院2.鋼鐵研究總院3.中國鋼研科技集團(tuán)有限公司
刊名：耐火材料
ISSN：1001-1935
出版年：2024-12-15
卷：58
期：6
起頁：536-542
止頁：
分類號：TQ174.1
語種：中文
關(guān)鍵詞：堇青石陶瓷;熱膨脹系數(shù);半導(dǎo)體;固相合成法;
內(nèi)容簡介堇青石陶瓷具有較低的熱膨脹系數(shù)、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、較高的強(qiáng)度等優(yōu)點(diǎn)，在冶金、催化劑、耐火材料等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，尤其是伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，堇青石陶瓷已成為高端裝備陶瓷結(jié)構(gòu)件用關(guān)鍵材料。為此，簡述了堇青石陶瓷的固相合成法、溶膠-凝膠法、熔融玻璃法等制備方法，綜述了通過調(diào)控原料配比和粒徑、摻雜其他元素、調(diào)整燒成工藝等途徑降低堇青石陶瓷熱膨脹系數(shù)的研究現(xiàn)狀，并討論了低熱膨脹系數(shù)的堇青石陶瓷在不同領(lǐng)域中的應(yīng)用現(xiàn)狀，展望了低熱膨脹系數(shù)的堇青石陶瓷未來的研究方向。
所需耐材幣：0
