原文標準名稱：半導體硅單晶生產用高純石英坩堝
英文標準名稱：
中文主題詞：高純石英坩堝
英文主題詞：
標準號：T/ICMTIA CM0038—2024
標準狀態：現行
國別：中國
發布日期：2024-04-25
實施或試行日期：2024-06-01
發布單位：中關村集成電路材料產業技術創新聯盟
起草單位：浙江美晶新材料股份有限公司、寧夏鑫晶新材料科技有限公司、鄭州合晶硅材料有限公司、山東有研半導體材料有限公司、中環領先半導體材料有限公司
標準類型：產品
標準水平：國內先進
中國標準分類號：
國際標準分類號：29.045
頁數：0
正文語種：中文
內容簡介本文件規定了半導體硅單晶生產用高純石英坩堝的術語和定義、規格尺寸、技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和儲存技術內容。 本文件適用于半導體硅單晶生產用高純石英坩堝。
所需耐材幣：0
